i-Stock
| 仓储型号： | i-Stock vII Plus |
|---|---|
| 外型尺寸： | 长11560mm*宽4600mm*高3000mm |
| 物料种类： | Foup/Cassette/真空包装/Tray包装/Dram Module等半导体物料 |
| FOUP规格： | 长440mm*宽350mm*高340mm |
| 存取容量： | 200-300个FOUP/Cassette |
| 存/取时间： | 30-55s/箱 |
| 电源： | 3Ψ 220V 50Hz |
| 静电防护： |
1.防静电处理材质储位，表面阻值106-1011Ω 2.设备外部结构接地，设备电源接地 |
| 温度湿度监测： |
1.监测范围：温度-40~100℃，湿度0~100%RH 2.监测精度：温度±0.5℃，湿度±5%RH |
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